Druck

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Das Sensorelement besteht aus vier Piezowiderständen auf einer chemisch geätzten Siliziummembran. Eine Druckänderung führt zu einer Dehnung der Membran und der eingegrabenen Widerstände. Die Widerstandswerte ändern sich proportional zur ausgeübten Spannung, was ein elektrisches Ausgangssignal erzeugt. Die Komponenten werden in potenziellen Anwendungen wie Dialysegeräten, Blutanalyse, Zentrofusion und Sauerstoff- und Stickstoffgasverteilung, HLK-Geräten, Datenspeicherung, Prozesssteuerung, Industriemaschinen, Pumpen und Robotik eingesetzt.

Verstärkt bezieht sich auf die Signalübertragung.
Kalibriert und kompensiert beziehen sich auf den Temperaturbereich.